河南日報社全媒體記者 姚廣強(qiáng)

打破我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高品質(zhì)電子級氫氟酸、高純四氟化硅依賴進(jìn)口局面，產(chǎn)品大批量供應(yīng)國內(nèi)多條芯片生產(chǎn)線，成功進(jìn)入國際芯片巨頭臺積電供應(yīng)鏈，并出口韓國、日本市場。多氟多新材料股份有限公司在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)十年磨一劍，多種產(chǎn)品成為補(bǔ)強(qiáng)“中國芯”的關(guān)鍵環(huán)，融入國際高端半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈。

3月22日，多輛專用貨車滿載電子級硅烷駛出多氟多子公司中寧硅業(yè)廠區(qū)。不遠(yuǎn)處，新建生產(chǎn)線正在以日新月異的速度“成長”……

“多氟多成為國內(nèi)唯一能夠大批次生產(chǎn)集成電路用高純四氟化硅氣體的企業(yè)，在韓國、日本市場上實現(xiàn)了推廣應(yīng)用。電子級硅烷與中芯國際、京東方、臺積電等泛集成電路行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)建立了合作關(guān)系，打開了利潤長期增長新空間。”中寧硅業(yè)董事會秘書、總經(jīng)理助理王礦賓介紹。

總部位于焦作市的多氟多，在打造新能源材料和半導(dǎo)體材料領(lǐng)域世界一流企業(yè)的道路上闊步前行。鋰電池電解液的關(guān)鍵材料六氟磷酸鋰，多氟多率先打破國際技術(shù)壟斷，連續(xù)多年產(chǎn)銷量位居全球第一。高品質(zhì)電子級氫氟酸品質(zhì)達(dá)到國際最高的UP-SSS級、純度達(dá)到ppt級，居世界先進(jìn)水平。

高品質(zhì)電子級氫氟酸是集成電路制造業(yè)關(guān)鍵材料之一，主要用于芯片清洗、蝕刻等環(huán)節(jié)，其純度和潔凈度對集成電路的成品率、可靠性都有著十分重要的影響。

深耕氟、硅、磷，助力“中國芯”。早在2006年，多氟多就從磷肥副產(chǎn)氟硅酸的高品質(zhì)利用入手，攻關(guān)電子級氫氟酸制備工藝，進(jìn)軍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

去年12月，多氟多的磷肥副產(chǎn)氟硅資源高質(zhì)利用成套技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目，喜獲2023年度中國石化聯(lián)合會科技進(jìn)步一等獎。該項目開發(fā)了以磷肥副產(chǎn)品氟硅酸為原料生產(chǎn)高品質(zhì)電子級氫氟酸聯(lián)產(chǎn)白炭黑成套新工藝，解決了磷肥產(chǎn)業(yè)環(huán)保難題，緩解了氟化工行業(yè)對戰(zhàn)略礦產(chǎn)資源螢石的高度依賴，提升了我國集成電路關(guān)鍵材料保障能力。

多氟多圍繞氟、硅兩個元素，打造“南北雙基地”，分別專注于干電子化學(xué)品和濕電子化學(xué)品，挖掘在半導(dǎo)體領(lǐng)域的無限可能。電子級硝酸、電子級氨水、電子級氟化銨……多氟多的系列產(chǎn)品相繼開發(fā)成功，為提升我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化率貢獻(xiàn)了力量。

3月20日至22日舉辦的2024上海國際半導(dǎo)體展上，多氟多的核心產(chǎn)品、關(guān)鍵技術(shù)、先進(jìn)解決方案均亮相，企業(yè)技術(shù)人員與來自全球的客戶、合作伙伴充分交流、深化合作。

“我最大的心愿，就是中國企業(yè)擁有自主核心技術(shù)，改變半導(dǎo)體行業(yè)在國際上的落后局面，不再‘缺芯少魂’。祖國需要什么，我們就做什么。多氟多愿意‘打頭陣’，以科技創(chuàng)新攻克一個個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)‘堡壘’。”多氟多董事長李世江表示。

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